vol.18 集束イオンビームによる加工薄片のハンドリングについて

マイクロハンドリングニュース vol.18

お問合せ

いつもマイクロサポートをご愛顧いただき、誠にありがとうございます。

マイクロサポートでは「マイクロハンドリングニュース」として継続的にマイクロハンドリングや

サンプリングについての情報を発信しています。引き続きよろしくお願いいたします。

集束イオンビームによる加工薄片のハンドリングについて

半導体製品等の研究開発、品質管理、不良解析のために、集束イオンビーム（FIB）による試料の微細断面加工が行われております。

加工されたナノオーダー薄片のハンドリングはFIB装置の試料室内でイオンビームを使って行われる事が多いですが、時間がかかる作業であり、サンプル数をこなすには高額な装置を複数台稼働させる必要があります。

上記の作業を大量に迅速に行うために、弊社は加工した試料を試料室から取り出して、大気雰囲気にて顕微鏡下で行う手法を提案しております。

加工エリアは大きくても数十μmですので、当然高倍率顕微鏡環境下で行う必要がありますが、弊社の「アクシスプロ」を用いれば、加工済の１薄片を数分でメッシュやグリットなどに受け渡す事（リフトアウト）が可能となります。

ハンドリング（リフトアウト）のイメージ図

イメージ図の様に、顕微鏡観察しながら試料を回転させたりプローブを回転させたりすることが出来ますので、リフトアウトの際の作業効率が大幅にアップします。

装置持込み実演デモも随時行っておりますので、是非お問合せください。

《アプリケーション動画》

・FIB薄片リフトアウト姿勢制御と受渡し：https://youtu.be/H3LXm62_k30

・高精度ローテーターの使用方法：https://youtu.be/4NAdcFJG4-0

ご質問・ご相談などお気軽にお問い合わせください

「働き方改革」が不可避な現在では、作業標準化や効率化、生産性アップは避けられないテーマです。

マイクロサポートはユーザー様の課題に対して、ハード・ソフトの両面でお役立ちを提供いたします。

「一度デモを行いたい」「すでに導入している設備をさらに活用したい」など、お気軽にご相談ください。

機器選定のアドバイスから、オリジナルツールの製作まで幅広く対応させて頂きます。

↓　デモのご相談やテストルームのご案内はこちら　↓